晶圆的重要性不言而喻,因此我们需要对晶圆有一定的了解。在前两篇文章中,编辑人员讨论了从晶片到CPU的转换过程以及晶片和硅之间的区别。
为了增进大家对晶圆的了解,本文将解释晶圆制造的特点。如果您对晶圆感兴趣,不妨继续阅读。
晶圆是指用于生产硅半导体集成电路的硅晶圆。由于其圆形,因此称为圆片。
它可以加工成硅晶片上的各种电路元件结构,并与特定的电子功能集成在一起。电路产品。
晶片的原始材料是硅,并且在地壳的表面上存在取之不尽的二氧化硅。硅矿石经电弧炉精制,用盐酸氯化,然后蒸馏以生产纯度为99.999999999%的高纯度多晶硅。
1.从石英砂中提炼出基本原料硅,用硅元素(99.999%)提纯晶圆,然后将这些纯硅制成硅锭,成为制造集成电路的石英半导体材料。照相制版,打磨,抛光,切片和其他工艺会熔化多晶硅,以拉出单晶硅锭,然后将其切成薄片。
硅晶片广泛用于集成电路(IC)基板和半导体封装基板材料。硅晶片的切割质量直接影响芯片的成品率和制造成本。
硅晶片划片方法主要包括金刚石砂轮划片和激光划片。激光划片使用由高能激光束聚焦产生的高温来立即蒸发被照射区域中的硅材料,从而完成硅晶片的分离。
但是,高温会导致切缝周围的热应力,从而导致硅片的边缘破裂,因此仅适合于薄化。晶圆划片。
由于划线产生的切削力小且划线成本低,因此超薄金刚石砂轮划线是最广泛使用的划线工艺。由于硅晶片的脆性和坚硬特性,切割工艺容易产生诸如碎裂,微裂纹和分层等缺陷,这些缺陷直接影响硅晶片的机械性能。
同时,由于硅片的高硬度,低韧性和低导热性,在划线过程中产生的摩擦热难以快速传导,并且容易使刀片中的金刚石颗粒变硬。碳化和热裂,导致严重的工具磨损并严重影响切削质量。
2.晶片制造中的单晶硅棒的直径取决于拉出籽晶的速度和转速。一般而言,上拉速率越慢,生长的单晶硅棒的直径就越大。
切割的晶片的厚度与直径有关。尽管半导体器件的制备仅在晶片顶部的几微米之内完成,但是晶片的厚度通常必须达到1 mm,以确保足够的机械应力支持。
因此,晶片的厚度将随着直径的增加而增加。晶圆制造厂会熔化这些多晶硅,然后将晶种植入熔融的液体中,然后缓慢拉出以形成圆柱形单晶硅晶锭,因为硅晶锭是由晶面的取向决定的。
在熔融硅原料中逐渐形成。该过程称为“晶体生长”。
在将硅锭切成段,进行桶装,切片,倒角,抛光,激光雕刻和包装之后,其成为集成电路工厂的基本原材料-硅晶片,即“晶片”。 3.晶圆制造业的特点晶圆和芯片制造业是技术密集型和资本密集型行业,其生产对环境有非常严格的要求。
例如,电力,水和天然气的供应不仅具有非常高的质量要求。还必须使用双回路,甚至三回路,以确保始终有充足,及时的供电。
此外,对空气环境,表面微震和工厂所在地的地质条件也有严格的要求。至于工厂内部,由于工艺条件的原因,许多工艺必须在恒温,恒湿和超净无尘车间内完成。
室内环境的参数会自动调整以确保
