1.应用背景:磁控溅射是磁控管工作方式的二次溅射。该技术被广泛应用于涂装设备中。
它不仅适用于各种涂层目标(例如铜,钛,铬,不锈钢,镍和其他金属材料),而且还可以大大提高涂层在涂层过程中的附着力。聚焦,可重复性,密度和均匀性。
磁控溅射镀膜设备主要使用直流磁控溅射,这通常需要2个通道的稳定直流电源。设置电压值后,需要快速响应电压设置值。
使用期间必须保持电源的稳定性,并且电压值不得受负载影响。但是,市场上常用的开关电源是开环控制,不能保证稳定的输出,而稳定的电压对涂层的质量非常重要。
因此,设想可以使用PLC的PID算法和现有的直流开关电源来实现电源。快速调整和闭环管理。
如下图所示,智能电源控制系统需要4AI来检测两个直流稳压电源的电流信号和电压信号,作为智能电源的反馈信号。需要2AO来控制电压输出,以便电源具有良好的负载特性,保持恒定的电压输出。
